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HPC1100高壓控制器

產品名稱:高壓控制器

產品型號:HPC1100

品牌:LIGHTHOUSE美國萊特浩斯

采樣流量:28.3L/min

粒徑范圍:0.1μm 或更大

流速:1.0 CFM

輸出壓力:接近大氣壓

輸入壓力:30-150 psi

尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm


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產品概述
產品特色
應用范圍
技術參數


HPC1100高壓控制器


產品概述

  1. 產品名稱:高壓控制器
  2. 產品型號:HPC1100
  3. 品牌:LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
  4. 采樣流量28.3L/min
  5. 粒徑范圍:0.1μm 或更大
  6. 流速:1.0 CFM
  7. 輸出壓力:接近大氣壓
  8. 輸入壓力:30-150 psi
  9. 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm

 

設計采用了新技術, 在高壓氣體成分,HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子對高壓(30-150 psi)的惰性氣體系統提供工藝氣體污染的監測能力。

HPC 1100的不銹鋼設計堅固耐用,可靠,幾乎不需要日常維護和校準。在正常操作過程中,惰性氣體可被回收采樣過程中使用100%的供氣。

 

 

 

 

 

 

 

產品特色

特征

優點

應用

  • 可用于任何惰性氣體
  • 輕松設置
  • 安裝簡單
  • 前置流計
  • 直觀的用戶控制
  • 安靜的操作
  • 快速清除和清理
  • VCR內部和外部
  • 不銹鋼結構
  • 在正常操作過程中的零氣體廢物
  • 近常壓輸出
  • 低噪聲
  • 小尺寸
  • 便于系統集成
  • 2年保修的
  • 較低的擁有成本

 

  • 工藝鑒定
  • 半導體制程監控
  • 平板過程監控
  • 過程趨勢分析

 

 

主要技術參數及性能:

粒徑范圍

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

輸出壓力

接近大氣壓

輸入壓力

30-150 psi

兼容氣體

氮,氬氣,氦氣

運行噪音

<60 db

外殼

不銹鋼

材質

316L 不銹鋼

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

隨機配件

采樣管; VCR; 尼龍螺帽;套圈

可選件

備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15&mu;m)

 

 

 

 

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